講座名稱：光刻技術(shù)與光刻機(jī)

講座人：梁瑞林 教授

講座時間：3月26日10:00

講座地點(diǎn)：廣研院B5-205

講座人介紹：

梁瑞林，西安電子科技大學(xué)材料學(xué)科退休教授。曾任技術(shù)物理系副主任(技術(shù)物理學(xué)院副院長)。中國電子學(xué)會高級會員，國家教委高等院校教材統(tǒng)編委員會委員，日本陶瓷學(xué)會海外會員。多次承擔(dān)并完成國家自然科學(xué)基金項目、中國工程物理研究院項目、電子科學(xué)研究院項目、陜西省項目、企業(yè)委托項目，并獲獎。其中，國家自然科學(xué)基金委員會與中國工程物理研究院聯(lián)合基金項目的獎項，為國家自然科學(xué)基金委員會銀質(zhì)獎。兼任地方政府技術(shù)顧問、企業(yè)技術(shù)顧問30多年。科學(xué)出版社出版專著、譯著9部，國防工業(yè)出版社出版合著一部。國內(nèi)外發(fā)表論文30余篇。

講座內(nèi)容：

介紹光刻機(jī)的相關(guān)情況。

主辦單位：廣州研究院